溅射-单个/多个溅射源
等离子增强化学气相沉积(PECVD)
电感耦合沉积(ICPD)
热丝化学气相沉积(HWCVD)
多源热蒸发TE-Multi source
薄膜加工:
独一无二的薄膜加工设备
Roll to Roll 沉积工具
客户自定义加工设备
立式预真空送样室
应用领域:
光伏
薄膜电池
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薄膜传感器
医疗器械
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工艺
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