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化学气相沉积PECVD/CVD/PVD

在线生产型FLEX5000

产品概述

溅射-单个/多个溅射源

等离子增强化学气相沉积(PECVD)

电感耦合沉积(ICPD)

热丝化学气相沉积(HWCVD)

多源热蒸发TE-Multi source