产品中心

• 工艺加工设备
  • 化学气相沉积PECVD/CVD/PVD
    • 在线生产型FLEX5000
    • 单腔室FLEX1000
    • 单腔多工艺FLEX2000
  • 激光加工系统
    • 小型激光微加工系统-A系列
    • 超小型激光微加工系统-ALPHA系列
    • 稳健型批量生产系统-C系列
    • 先进的研发型激光微加工系统-E系列
    • 超快型激光微加工系统-J系列
  • 超光谱/红外光谱/在线XRF分析
    • 超光谱成像系统
    • 在线近红外光谱
    • 在线XRF分析
  • 3D激光微纳加工系统
    • 3D激光打印机（微流控生物芯片）
  • 激光增材3D打印机
    • 激光增材3D打印机
• 检测设备
  • 激光干涉仪
    • 激光干涉仪
  • 薄膜测厚仪
    • 便携式探头
    • MAI显微镜适配器
    • MProbe MSP显微薄膜测厚仪
    • Map薄膜厚度测绘仪
    • EC-770N 导电金属基涂层测厚仪
    • MProbe NIR薄膜测厚仪
    • MProbe RT薄膜测厚仪
    • MProbe UVVisSR薄膜测厚仪
    • MProbe Vis薄膜测厚仪
    • EC-770 两用涂层测厚仪
    • MProbe系列薄膜测厚仪
  • 单晶X射线衍射仪
    • 单晶X射线衍射仪
  • LIBS
    • 台式LIBS元素定量分析仪-Z118
    • LIBS在线元素定量分析仪-Z118
    • 在线LIBS元素分析仪-BREAKDOWN
    • LIBS 元素成像分析仪-Coriosity
  • 非球面测量系统
    • 非球面测量系统MarSurf LD 260
    • 非球面测量系统MarSurf-LD130-LD260
    • 自由曲面测量
  • 少子寿命测量仪
    • 少子寿命测量仪MDPinline ingot
    • 少子寿命测量仪MDPlinescan
    • 少子寿命测量仪MDPinline
    • 少子寿命测量仪MDPingot
    • 少子寿命测量仪MDPspot
    • 少子寿命测量仪MDPmap
  • IRIS光谱仪
    • IRIS光谱仪

化学气相沉积PECVD/CVD/PVD