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化学气相沉积PECVD/CVD/PVD

  • 在线生产型FLEX5000

    溅射-单个/多个溅射源等离子增强化学气相沉积(PECVD)电感耦合沉积(ICPD)热丝化学气相沉积(HWCVD)多源热蒸发TE-Multi source

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  • 单腔室FLEX1000

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  • 单腔多工艺FLEX2000

    薄膜加工:独一无二的薄膜加工设备Roll to Roll 沉积工具自定义加工设备立式预真空送样室

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